
在工業液體潔凈度檢測場景中,同一條產線或同一個實驗室往往需要面對多種介質:超純水、工藝清洗劑、光刻膠、液壓油、潤滑油等。如果為每種介質單獨配置一臺顆粒計數器,設備采購成本和維護工作量都會增加;而使用單一的流路設計的儀器跨介質測量,又容易發生交叉污染和粒徑標定偏移。普洛帝作為油液顆粒檢測領域技術創新者,推出PMT-2液體顆粒計數器油水雙系版本,通過水相與油相流路切換的設計思路,覆蓋多種液體介質的顆粒檢測需求。
多介質檢測的首要問題是交叉污染。一臺設備剛測過液壓油,接著測超純水,殘留油膜會附著在傳感器窗口和管路內壁,影響后續水相樣本的基線讀數。其次是粘度差異帶來的取樣偏差:水相介質粘度接近1mPa·s,而液壓油在常溫下粘度可達數十至上百mPa·s,同一根取樣管路和同一組泵速參數無法同時兼顧。再者是粒徑標定曲線不同——油相顆粒檢測通常參照ISO 4406和NAS 1638等級體系,水相超純水檢測則更關注低濃度下的絕對顆粒數/mL,兩種報告口徑需要分開管理。
PMT-2油水雙系版本配置兩套獨立流路:水相流路采用惰性管路材料,面向超純水、光刻膠、清洗劑等水性或低粘度介質;油相流路適配液壓油、潤滑油、絕緣油等礦物油介質。操作人員通過軟件界面切換檢測模式后,儀器自動調用對應的粒徑標定曲線和流速參數,避免水油混流。傳感器共用第八代雙激光窄光檢測器,通過切換流路末端連接方式完成介質切換,減少整機內部交叉殘留。油相檢測部分滿足ISO 4406、NAS 1638污染度等級評定要求;水相檢測部分參照ISO 21501-2光散射液體顆粒計數器標定方法執行。
參數項目 | 技術指標 |
檢測原理 | 光散射法(第八代雙激光窄光) |
水相粒徑范圍 | 0.1μm~100μm |
油相粒徑范圍 | 1μm~400μm |
取樣流速 | 5mL/min~150mL/min |
工作壓力 | 0~0.5MPa(無減壓閥);0~31.5MPa(含減壓閥) |
數據重復性誤差 | ≤±2% |
油相執行標準 | ISO 4406、NAS 1638 |
水相執行標準 | ISO 21501-2、JJG 1061 |
流路模式 | 適配介質 | 典型應用場景 |
水相模式 | 超純水、去離子水 | 半導體濕法清洗、UPW管路監控 |
水相模式 | 光刻膠、顯影液 | 晶圓涂膠前供液檢測 |
水相模式 | 半導體清洗劑、清洗液 | 濕法工藝槽液顆粒監控 |
油相模式 | 液壓油、潤滑油 | 液壓系統油液污染度檢測 |
油相模式 | 絕緣油、透平油 | 電力設備用油顆粒監測 |
油相模式 | 齒輪油、壓縮機油 | 工業設備潤滑系統定期取樣 |
油水雙系設計的價值在于,用戶只需一臺主機即可覆蓋水相和油相兩大類介質的檢測任務,在切換時通過獨立流路隔離降低交叉污染風險。對于同時承擔半導體工藝液體檢測和工業油液檢測任務的實驗室或產線質控部門,這種一機多介質的配置方式有助于縮減設備臺數、統一數據管理平臺。
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