在半導體晶圓清洗、芯片制程供水中，超純水（UPW）中的亞微米顆粒會附著到硅片表面，直接影響光刻和刻蝕良率。常規液體顆粒計數器面向油液和高濃度介質設計，在低顆粒濃度、低粘度的超純水體系中容易出現流量漂移、小粒徑漏計。油液顆粒檢測領域技術創新者普洛帝面向水質與微納米檢測方向推出 PMT-2 超純水顆粒計數器，搭載第八代雙激光窄光檢測傳感器與雙路精密流量控制，支持在線實時與離線抽樣兩種工作模式，為半導體廠超純水系統提供顆粒數據支撐。

超純水檢測的現實需求

超純水體系的特點是粘度低、顆粒濃度低、粒徑小。行業普遍參考 ISO 21501-4 對光阻法液體顆粒計數器的校準要求，污染度代碼仍可對照 ISO 4406、NAS 1638 輸出。傳統單激光檢測器在低濃度水樣中，光路雜散光和微小氣泡容易造成誤計數；柱塞泵流量波動則會讓單位體積顆粒數出現偏差。

半導體制造對超純水的要求是持續監測終端用水點，而不只是周期性送樣。PMT-2 超純水顆粒計數器即按這一現場需求設計：在線模式可直接串入超純水循環管路連續采樣，離線模式則配合取樣瓶在實驗室做抽檢和比對，同一臺設備覆蓋供水管網監控與潔凈室實驗室兩種場景。

核心技術

PMT-2 核心是普洛帝第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器。兩組激光光路并行掃描流經檢測區的水樣，單路光被遮擋時另一路仍可完成計數，降低單光路上氣泡、雜散光帶來的誤判；窄光設計讓粒徑分辨邊界更穩定，便于在 0.1 μm 量級區分顆粒信號與噪聲。

流量控制采用雙路結構：精密計量柱塞泵負責定量進樣，超精密流量電磁模塊負責實時微調流速。兩者形成閉環，把檢測過程中的流量波動壓在較小范圍，避免因流速變化引起的顆粒漏計或重復計數。設備配備彩色液晶觸摸屏，本地即可完成模式切換、粒徑通道自定義和報警閾值設置；數據本地大容量存儲，支持 U 盤或網絡導出，便于質量體系留檔。

技術參數表

應用場景

在半導體制造廠，PMT-2 可部署在超純水分配管網終端、晶圓清洗機入口和化學品稀釋配液點，連續跟蹤供水顆粒數；當某一用水點顆粒濃度上升，可及時提醒檢查拋光混床、超濾膜和末端過濾器。在光伏電池片、平板玻璃、硅晶片清洗工序，設備可用于清洗純水的抽樣比對。生物醫藥行業的制藥純化水、注射用水，以及精密電子制造的清洗劑顆粒監控，同樣可使用該設備完成日常檢測。設備接觸流路按低析出材料設計，檢測過程不對純水造成二次污染，適合潔凈介質長期連續使用。

結尾

PMT-2 超純水顆粒計數器圍繞低顆粒、小粒徑、低粘度的純水介質做了專項適配，雙激光檢測與雙路流量控制共同保障低濃度水樣下的數據一致性，在線、離線雙模式兼顧管網監測與實驗室抽檢。普洛帝把油液顆粒檢測積累的光學與流量控制經驗延伸到超純水領域，為半導體等高潔凈行業的水質顆粒管控提供了一臺可落地的檢測設備。